作者:admin 發表時間:2017-02-06 16:29:20 點擊:124
LED芯片製造主要(yào)是為(wéi)了製造有效可靠的低歐姆接(jiē)觸電極,並(bìng)能滿足可接觸材料之間最小的壓(yā)降及提供焊(hàn)線的壓墊,同時盡可能多地出光。渡膜工藝一般(bān)用真空蒸鍍方法,其主要在1.33×10?4Pa高真空下,用電(diàn)阻(zǔ)加(jiā)熱(rè)或電子束轟(hōng)擊加熱方法使材料熔化,並(bìng)在低氣壓下(xià)變(biàn)成金屬(shǔ)蒸氣沉積在半導體材料(liào)表(biǎo)麵。一般所用的P型(xíng)接觸金屬包括AuBe、AuZn等合金,N麵的接觸(chù)金屬常采(cǎi)用AuGeNi合金。鍍膜後形成的(de)合金(jīn)層還需(xū)要通過光刻工藝將發光區盡可能多地露出來,使(shǐ)留下來的合(hé)金層(céng)能滿足有效可(kě)靠的低歐姆接觸電極及焊線壓墊的要求。光刻(kè)工序結束(shù)後還要通過合金化過程,合(hé)金化通常(cháng)是在H2或N2的保(bǎo)護下進(jìn)行。合金化的時間和溫度通常是根據半導體材料特性與合(hé)金爐形式等因素決定。當然若是藍綠等芯片電極工藝還要複雜,需增加鈍化膜生長、等離子刻蝕工藝等。
隨著半導體LED技術的發展,其在照明領域的應(yīng)用也越來越多,特別(bié)是白光LED的出(chū)現(xiàn),更是成為半導體照明的熱點。但是(shì)關鍵的芯片、封裝技術還有待提高,在芯片方麵要(yào)朝大功率(lǜ)、高光效和降低(dī)熱阻方麵發展。提高功率意味著芯片(piàn)的使(shǐ)用電流加大,最直接的(de)辦(bàn)法是加大(dà)芯片尺寸,現在普遍(biàn)出現的大功率芯片都在1mm×1mm左右(yòu),使用電(diàn)流在350mA。由於使用電(diàn)流的加大(dà),散熱問題成為突出問題,現在通過芯片倒裝的方法基本解決了這一文題。隨著LED技術的發展,其在照明領域的應用會麵臨一個前所未有的機遇和(hé)挑戰。
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