大功率紫外線燈在半導體行業的應用

在半導體製造行（háng）業，大功率紫外（wài）線燈用於晶圓表麵微粒檢測。晶（jīng）圓的切割、清洗會對晶圓表麵（miàn）造成汙染，而用大（dà）功率紫外線燈輻射能夠發現汙染點，這對於提（tí）高晶圓良品率至關重要。

作為多年（nián）來從事紫外線燈研發、設計、製造的深圳紫外線燈品牌TANK007就跟大家夥來聊聊被稱為集合幾乎人類所有理工學科的（de）智（zhì）慧的半導體行業為何需要使用大功率紫外線燈。

目前應用於半導體行業的大功率紫（zǐ）外燈分為便攜式紫外（wài）線燈（dēng）和固定式紫外線（xiàn）燈。

其中，便攜式大功率紫外（wài）線燈如大功率紫外線手電筒可用於（yú）便攜式操作，常見的如檢查設備表麵塵（chén）埃。

而固定式大功率紫外線燈可檢查晶圓表麵質量和微粒（lì）檢查。例如台（tái）積電、中芯國際和上海微電子等半導體企業都有涉（shè）及到大功率紫外（wài）線燈。

大功率紫外線燈用於檢查半導（dǎo）體潔淨室（shì）

1、半導（dǎo）體（tǐ）潔淨室內（nèi）部為了保持幹淨，通常潔淨室內氣壓高於標準大（dà）氣（qì）壓才能確保（bǎo）粉塵隻（zhī）出不進。

另外通過安裝大（dà）型鼓（gǔ）風機，把過濾的清潔空氣輸入到潔淨室中，為了保（bǎo）證溫濕度空調係（xì）統也是必（bì）須（xū）的安裝的。至於日常檢查是否有（yǒu）塵埃落入可借助（zhù）大功率紫外線燈來檢查。

3、為了最大（dà）程度減少塵埃在潔淨室滯留，潔淨室所（suǒ）有（yǒu）氣流方（fāng）向均由上往下為主。

4、進入潔淨室內的物料盡量選用不（bú）易產生靜（jìng）電的材料，以減少對灰塵（chén）的吸附。

5、進出潔（jié）淨室（shì）內的工作人員，嚴格按照空氣吹浴 (air shower) 程序，除去自身表麵粉塵。

6、為確保人體及衣物的（de）毛屑，進出潔淨室/無塵室的（de）工作（zuò）人員需穿戴無塵衣，杜絕與外界隔絕（jué）接觸 

總之，晶圓的製造環境潔淨度將直接影響著晶圓的良品率，晶圓（yuán）製造企業必須要有配套無塵生（shēng）產環境才能確保晶圓的質量。

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